鑫南光小編為大家介紹四川精密光刻機(jī)產(chǎn)品介紹：

一、主要用途：

本設(shè)備用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、聲表面波器件研制和生產(chǎn)。找平機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性高，找平力小。且應(yīng)對(duì)特殊基片表現(xiàn)卓越，如易碎的砷化鉀、磷化銦等基片，以及非圓形、小型基片時(shí)，可憑借找平力小的優(yōu)勢(shì)，能不損壞基片順利曝光且滿足曝光需求。

二、主要技術(shù)參數(shù) ：

1.適用于對(duì)Φ4″以下只需一次曝光的各種基片進(jìn)行曝光，基片厚度要求0～5mm。

2.光源采用200W直流汞燈，曝光頭光束不均勻性≤±6%（Φ100mm范圍以內(nèi)）。

3.采用時(shí)間繼電器（可調(diào)節(jié)）控制曝光頭的快門。

4.具有兩個(gè)真空密著承片臺(tái)（一個(gè)在曝光時(shí)，另一個(gè)可進(jìn)行上下片的操作），根據(jù)用戶需求，我公司可制作圓形或方形真空密著承片臺(tái)。

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