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G-31D4型高精密雙面光刻機(jī)

G-31D4型高精密光刻機(jī) 產(chǎn)品介紹:設(shè)備概述本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路…

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G-31D4型高精密光刻機(jī)  

產(chǎn)品介紹:

設(shè)備概述

本設(shè)備廣泛用于各大、中、小型企業(yè)、大專院校、科研單位,它主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲表面波器件、薄膜電路、電力電子器件的研制和生產(chǎn)。主要構(gòu)成 本設(shè)備為板板對準(zhǔn)雙面曝光<span style="font-family:;" "="">

主要由雙目視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、二臺4"LED專用曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、高精度對準(zhǔn)工作臺、Z軸升降機(jī)構(gòu)、真空管路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級防震工作臺等組成。


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主要功能特點(diǎn)

1.適用范圍廣

適用于φ100mm以下、厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光,雙面可同時曝光,亦可用于單面曝光。

2.結(jié)構(gòu)

Z軸采用滾珠直進(jìn)式導(dǎo)軌和可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu),真空吸版,防粘片機(jī)構(gòu)。

3.操作簡便

X\Y移動、Q轉(zhuǎn)、Z軸升降采用手動方式;吸版、反吹采用按鈕方式,操作、調(diào)試、維護(hù)、修理都非常簡便。

4. 可靠性高

采用進(jìn)口(日本產(chǎn))電磁閥、按鈕、定時器;采用獨(dú)特的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件,使本機(jī)運(yùn)行具有非常高的可靠性。采用進(jìn)口(日本產(chǎn))電磁閥、按鈕、定時器;采用獨(dú)特的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和

5. 特設(shè)功能

不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題  

主要技術(shù)指標(biāo)

2、曝光面積:102×102mm

3、曝光照度不均勻性:≤±3%

4、曝光強(qiáng)度:030mw/cm2可調(diào);

5、紫外光束角:≤;

6、紫外光中心波長:365nm;

7、紫外光源壽命:≥2萬小時;

8、工作面溫度:≤30℃

9、采用電子快門;

10、曝光分辨率:1μm(曝光深度為線寬的10倍左右)

11、曝光模式:雙面同時曝光

12、對準(zhǔn)范圍:X:±5mm Y:±5mm

13、套刻精度:1μm

14、旋轉(zhuǎn)范圍:Q向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)≤±5°

15、顯微系統(tǒng):雙視場CCD系統(tǒng),物鏡1.6X~10X,計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng),19″液晶監(jiān)視器;

16、掩模版尺寸:能真空吸附5"方形掩板,對版的厚度無特殊要求(1~3mm皆可)。

17、基片尺寸:適用于4"基片,基片厚度0.1-2mm。


【全文完】

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